|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титанатезисы доклада
- Авторы: Сунь Чж, Конищев М.Е., Пустовалова А.А.
- Сборник: Перспективы развития фундаментальных наук: сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых
- Тезисы
- Год издания: 2014
- Издательство: ГОУ ВПО ТПУ
- Местоположение издательства: Томск
- Первая страница: 262
- Последняя страница: 264
- Добавил в систему: Пустовалова Алла Александровна