|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Synthesis, Properties and Aging of ICP-CVD SiCxNy:H Films Formed from Tetramethyldisilazaneстатья
- Авторы: Chagin Maksim N., Sulyaeva Veronica S., Shayapov Vladimir R., Kolodin Aleksey N., Khomyakov Maksim N., Yushina Irina V., Kosinova Marina L.
- Журнал: Coatings
- Том: 12
- Номер: 1
- Год издания: 2022
- Издательство: MDPI
- Местоположение издательства: Basel, Switzerland
- Первая страница: 80
- DOI: 10.3390/coatings12010080
- Добавил в систему: Щукин Александр Евгеньевич