|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
МЕТОДЫ ОЦЕНКИ КАЧЕСТВА ФОТОШАБЛОНОВ С РАЗЛИЧНЫМИ МАСКИРУЮЩИМИ ПОКРЫТИЯМИтезисы доклада
- Авторы: Дашкевич Л.Л., Кондрашов П.Е., Мироненко Л.С.
- Сборник: Тезисы докладов всесоюзной конференции "Информационно-измерительные системы и точность в приборостроении"
- Тезисы
- Год издания: 1984
- Место издания: Москва
- Первая страница: 98
- Аннотация: Рассмотрены вопросы оценки изностойкости полимерных покрытий, используемых для защиты поверхности фотошаблонов
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич