|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
РАЗВИТИЕ РАБОТ ПО ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКЕ ТОНКИХ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛЕНОКстатья
- Авторы: Богданов Б.Н., Епифанов Г.И., Кнаб О.Д., Кондрашов П.Е., Мироненко Л.С., Фролов В.Д.
- Журнал: Электронная промышленность
- Номер: 1
- Год издания: 1983
- Первая страница: 45
- Последняя страница: 47
- Аннотация: Рассматривается влияние облучения ионами средних энергий на физико-химические и механические свойства тонких пленок фоторезистов
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич