|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Роль малоугольного приближения в исследовании процесса рассеяния электронов литографических энергий при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-7685статья
- Авторы: Грачев Е.А., Кузьмин И.Ю., и др.
- Журнал: НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ
- Номер: 26
- Год издания: 1985
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 12
- Добавил в систему: Грачев Евгений Александрович