Аннотация:В работе исследовались различные параметры пленки аморфного и нано кристаллического сплава кремния – углерода (а-нк-Si1-xCx:H (x=0-1)) легированного фосфором (PH3) и бором (B2H6). Изучены свойства этих пленок, полученных на различных подложках из кварца, стекла и кремния с покрытием Fe, Al, Pd, Ni, Ti, Ag. С помощью просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ) изучена морфология полученных нано трубок. Также изучены структурные свойства пленок с помощью инфракрасной спектроскопии и дифракции рентген-лучей. Созданы каскадные солнечные элементы площадью S=1,2 см2 и обладают коэффициент полезного действия 11,2%. Ключевые слова: пленки; аморфного кремния; свойства; нанотрубок; рентгеноструктурный анализ; излучения