Аннотация:Исследовано влияние высокочастотного разряда на изменение топографии поверхности оптического кварца КУ-1 и пропускание видимого света (400−1000 nm). Рабочими газами разряда являлись D2 и смесь D2/N2, в которой доля N2 составляла 25 mol%. Добавление азота увеличивало скорость распыления с 60 до 300 nm/h при сохранении стехиометрии поверхностных слоев. После экспозиции в плазме среднеквадратичная шероховатость поверхности уменьшалась с 1.3 до 0.6 nm. Прозрачность кварца не изменилась. Анализ шероховатости и расчет диффузного рассеяния света с длиной волны 400 nm, прошедшего сквозь кварц, выполнены с использованием функций спектральной плотности мощности.