|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Синтез мультислойных алмазных пленок в СВЧ-плазме в режимах с периодической инжекцией азотастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Мартьянов А.К., Седов В.С., Заведеев Е.В., Савин С.С., Ральченко В.Г., Конов В.И.
- Журнал: Доклады Российской академии наук. Физика, технические науки
- Том: 496
- Номер: 1
- Год издания: 2021
- Издательство: Российская академия наук
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 27
- Последняя страница: 30
- Добавил в систему: Мартышов Михаил Николаевич