|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Determination of the parameters of the first coating layer using broadband optical monitoring of the deposition processстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 марта 2022 г.
- Авторы: Isaev T.F., Lagutin Iu S., Lagutina A.A., Lukyanenko D.V., Prosovskiy O.F., Tikhonravov A.V., Yagola A.G.
- Журнал: Moscow University Physics Bulletin
- Том: 76
- Номер: 5
- Год издания: 2021
- Издательство: Allerton Press
- Местоположение издательства: New York, N.Y., United States
- Первая страница: 356
- Последняя страница: 362
- DOI: 10.3103/S002713492105009X
- Аннотация: The accuracy of determining the parameters of the first layer of an optical coating is of crucial importance for the accuracy of monitoring the deposition process of an entire multilayer coating. In this paper we propose a nonlocal algorithm for analyzing optical monitoring data, which allows the use of a more accurate layer model. The possibilities of the new nonlocal algorithm are demonstrated based on the example of studying the parameters of the first coating layer made of niobium oxide, which has a high refractive index and is one of the main materials used for film coatings.
- Добавил в систему: Ягола Анатолий Григорьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|