|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Mapping wafer flatness changes in Chemical Mechanical Planarizationстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 мая 2017 г.
- Авторы: Golubtsov P.V., Zhang Y., Yin X.M.
- Сборник: Proceedings of the 7th IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference & Workshop
- Год издания: 1996
- Место издания: Cambridge, Massachusetts, USA
- Первая страница: 343
- Последняя страница: 346
- Добавил в систему: Голубцов Петр Викторович