|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Методика измерения механических напряжений в тонких пленках на пластине с помощью оптического профилометрастатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Дюжев Н.А., Дедкова А.А., Гусев Е.Э., Новак А.В.
- Журнал: Известия высших учебных заведений. Электроника
- Том: 21
- Номер: 4
- Год издания: 2016
- Издательство: Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 367
- Последняя страница: 372
- Аннотация: Разработан и реализован алгоритм анализа рельефа для расчета механических напряжений в выбранном направлении на пластине в программной среде Matlab. Методика предусматривает возможность проведения измерений в каждой точке образца, что обеспечивает наглядное представление данных и позволяет получить распределение механических напряжений по поверхности пластины. C помощью данной методики измерены механические напряжения в пленке плазмохимического нитрида кремния на кремниевой подложке. Проведен анализ в среде приборно-технологического моделирования TCAD.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна