Аннотация:Разработана технология формирования заготовок наноструктурированных мембран для МЭМС-приборов на основе чередующихся слоев Si3N4/SiO2 с нанометровыми толщинами. Проведено комплексное исследование структуры и состава мембран с применением методов микроанализа на основе спектральной эллипсометрии, растровой электронной микроскопии (РЭМ), вторичной ионной масс-спектрометрии (ВИМС), электронной оже-спектроскопии (ЭОС), зондовой профилометрии и рентгеновской дифрактометрии. Экспериментально определены механические напряжения в кремниевых пластинах с заготовками наноструктурированных мембран.