|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Исследование механической прочности двухслойных мембран SiO2/Si3N4статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Дедкова А.А., Глаголев П.Ю.
- Журнал: Наноиндустрия
- Номер: S (89)
- Год издания: 2019
- Издательство: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 511
- Последняя страница: 514
- DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.511.514
- Аннотация: Проведено исследование механической прочности мембранного элемента, представляющего собой двухслойную структуру из оксида и нитрида кремния на кремниевой подложке. Экспериментально определено критическое давление разрыва круглой мембраны для различных диаметров. Показана упругая деформация. Результаты численного моделирования в среде COMSOL показывают распределение механических напряжений по диаметру мембраны. Указана область разрыва мембраны. Приведено сравнение результатов аналитического расчета, численного моделирования и эксперимента.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна