|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Оперативная неразрушающая методика анализа прогиба мембран, расположенных на пластинестатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 8 апреля 2022 г.
- Авторы: Дедкова А.А., Дюжев Н.А., Гусев Е.Э., Штерн М.Ю.
- Журнал: Дефектоскопия
- Номер: 5
- Год издания: 2020
- Первая страница: 52
- Последняя страница: 59
- DOI: 10.31857/S0130308220050073
- Аннотация: Описана неразрушающая методика автоматического анализа прогиба расположенных на пластине мембранных структур, которые являются ключевым элементом приборов на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС-приборов). Методика включает проведение анализа пластин на оптическом профилометре в специализированном режиме и математическую обработку результатов измерений. Методика позволяет определять величину и знак прогиба мембранных структур для каждой области измерения. Результатом методики является градация величины прогиба и фиксация следующих типов состояния мембранных структур, важных для оценки выхода годных и надежности МЭМС-приборов на их основе: отрыва или разрыва структуры, значительного прогиба структуры, небольшого прогиба структуры, отсутствия прогиба структуры. Все результаты отображаются в формате карты на поверхности пластины с мембранными структурами с возможностью доступа к более подробным данным. Разработанная методика позволяет локализовать области с максимальным, заданным и низким выходом годных кристаллов МЭМС-приборов, а также области с браком по всей поверхности пластины. Использование методики существенно повышает точность и сокращает время измерений для оценки выхода годных мембранных структур, а также дает возможность скорректировать технологический маршрут для увеличения выхода годных кристаллов МЭМС-приборов.
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна