|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Плазменная очистка оптического кварца КУ-1 от алюминиевых пленок. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2021. №7. С. 19-29статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
- Авторы: Городецкий А.Е., Маркин А.В., Буховец В.Л., Золотаревский В.И., Залавутдинов Р.Х., Мухин Е.Е., Раздобарин А.Г.
- Журнал: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования
- Номер: 7
- Год издания: 2021
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 19
- Последняя страница: 29
- DOI: 10.31857/S1028096021070050
- Аннотация: Исследованы физико-химические превращения в поверхностных слоях кварца при плазменной очистке от пленок алюминия. Проанализировано влияние плазменной чистки на пропускание сета кварцевой пластиной.
- Добавил в систему: Городецкий Александр Ефимович