Аннотация:Представлено описание возможностей экспериментального комплекса HVEE-500 НИИЯФ МГУ, позволя- ющего проводить направленное модифицирование и исследования поверхностей и тонких пленок. Ускори- тельный комплекс оснащен четырьмя экспериментальными трактами, которые позволяют создавать, модифи- цировать и исследовать объекты нанометрового масштаба за счет эффектов распыления мишени, импланта- ции ионов, обратного рассеяния. Представлены описание и технические параметры экспериментальных трак- тов, в том числе предназначенного для проведения in situ ионной имплантации и спектрометрии Резерфор- довского обратного рассеяния. Показаны возможности комплекса в задачах инженерии дефектов за счет об- лучения ионами благородных газов в наноструктурированных материалах на примере углеродных нанотру- бок и пористого кремния.