Формирование и селективное травление самособирающихся гидрофобных пленок на поверхности SiO2 и Ta2O5статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 23 сентября 2020 г.
Аннотация:Оптимизировано получение тонких пленок на основе 1Н,1Н,2Н,2Н-перфтороктилтрихлорсилана на поверхности оксидов тантала и кремния. Подобраны условия для снятия гидрофобных тонких пленок с поверхности оксида тантала без затрагивания тонких пленок на поверхности SiO2 для создания химических сенсоров на основе полевого транзистора с затвором из тантала.