Формирование и селективное травление самособирающихся гидрофобных пленок на поверхности SiO2 и Ta2O5статья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 23 сентября 2020 г.

Работа с статьей


[1] Формирование и селективное травление самособирающихся гидрофобных пленок на поверхности sio2 и ta2o5 / К. В. Пучнин, Е. Н. Рыбачек, Е. В. Кузнецов, А. Е. Кузнецов // Нано- и микросистемная техника. — 2016. — Т. 18, № 9. — С. 554–558. Оптимизировано получение тонких пленок на основе 1Н,1Н,2Н,2Н-перфтороктилтрихлорсилана на поверхности оксидов тантала и кремния. Подобраны условия для снятия гидрофобных тонких пленок с поверхности оксида тантала без затрагивания тонких пленок на поверхности SiO2 для создания химических сенсоров на основе полевого транзистора с затвором из тантала.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть