Анализ низкотемпературной плазмы методом оптической эмиссионной спектроскопии с пространсивенным сканированиемстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 26 января 2022 г.
Аннотация:Описана автоматизированная установка, позволяющая получать карты пространственного распре-деления состава и интенсивности компонент оптических эмиссионных спектров активированнойгазовой среды, а также проводить термометрию методами машинного обучения, основанного набыстром сопоставлении расчетных и экспериментально регистрируемых спектров излучения. Ин-терпретируемый язык программирования Python с набором специализированных библиотек ис-пользовался как для автоматизации регистрации спектров, так и для их анализа с помощью методовмашинного обучения. Установка апробирована на примере метан-водородной газовой среды, акти-вированной разрядом постоянного тока, в установке по плазмохимическому осаждению углерод-ных наноматериалов. Программные средства автоматизированной установки позволяют дополнитьметодику измерений посредством включения дополнительных программных модулей без измене-ния программного кода основной управляющей программы.