|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Experiment, simulation of charging effects in SEMстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 27 мая 2015 г.
- Авторы: Babin S., Borisov S., Miyano Y., Abe H., Kadowaki M., Hamaguchi A., Yamazaki Y.
- Сборник: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Год издания: 2008
- Первая страница: 692219
- Последняя страница: 692219-7
- Добавил в систему: Борисов Сергей Сергеевич