|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
CHARIOT: software tool for modeling SEM signal and e-beam lithographyстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 19 июля 2013 г.
- Авторы: Babin S., Borisov S., Ivanchikov A.
- Журнал: Physics procedia
- Том: 1
- Номер: 1
- Год издания: 2008
- Издательство: Elsevier
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 305
- Последняя страница: 313
- Добавил в систему: Борисов Сергей Сергеевич