Equirate magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targetsстатья

Информация о цитировании статьи получена из Scopus, Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.

Работа с статьей


[1] Equirate magnetron sputtering of mosaic copper-graphite targets / Y. A. Mankelevich, A. V. Mitin, V. S. Mitin et al. // Technical Physics Letters. — 2013. — Vol. 39, no. 1. — P. 39–41. Based on experimental data on sputtering of copper-graphite cathodes, we propose a mechanism of equirate sputtering of elements of mosaic targets prepared from materials the sputtering yields of which differ by almost an order of magnitude. The mechanism takes into account the occurrence of a height discontinuity between the mosaic elements at the initial stage of sputtering, the redistribution of ion fluxes between the elements, and the effects related to the mass transfer in plasma and the implantation of sputtered atoms into the mosaic elements of the different variety. [ DOI ]

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть