|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Simulation of scanning electron microscope images taking into account local and global electromagnetic fieldsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 ноября 2013 г.
- Авторы: Babin S., Borisov S., Ito H., Ivanchikov A., Suzuki M.
- Журнал: Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures
- Том: 28
- Год издания: 2010
- Издательство: AIP Publishing
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: C6C41
- Добавил в систему: Борисов Сергей Сергеевич