|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Расчет профиля распределения ионов бора, внедренных в монокристалл кремния, методом численного моделированиятезисы доклада
- Авторы: Эльтеков В.А., Карпузов Д.С., Мартыненко Ю.В., Рубаха Е.А., Симонов В.А., Юрасова В.Е.
- Сборник: Физические основы ионно-лучевого легирования. Тезисы докладов научной конференции
- Тезисы
- Год издания: 1971
- Место издания: Горьковский исследовательский физико-технический институт Горький
- Первая страница: 7
- Последняя страница: 7
- Добавил в систему: Эльтеков Виталий Анатольевич