Наноэлектромеханическая система на основе подвешенного нанопроводатезисы доклада

Работа с тезисами доклада


[1] Наноэлектромеханическая система на основе подвешенного нанопровода / А. А. Дорофеев, И. В. Божьев, Д. Е. Преснов, В. А. Креупенин // Физика полупроводников и наноструктур, полупроводниковой опто- и наноэлектронике: тезисы докладов 18-й всерос. молод. конф. 28 ноября - 2 декабря 2016 года. — Изд-во Политехн. ун-та Санкт-Петербург, 2016. — С. 108. Авторами разработан метод изготовления нанорезонатора на основе подвешенного нанопровода. Структура изготавливалась на основе пластины кремния на изоляторе (КНИ). С помощью электронно-лучевой литографии и реактивно-ионного травления в верхнем слое кремния формировалась структура нанопровода и управляющих электродов. Для подвешивания нанопровода, слой оксида кремния под структурой нанорезонатора удалялся в растворе буферированной плавиковой кислоты (BHF). Металлизация поверхности структуры производилась с помощью электронно-лучевой литографии и электронно-лучевого напыления слоев металла (Cr/Al). Для определения резонансной частоты наномеханического резонатора выбран магнитодвижущий метод, который заключается в следующем: образец помещается в постоянное однородное магнитное поле, и через нанопровод пропускается высокочастотный переменный ток. Вблизи резонансной частоты фиксировался характерный провал коэффициента прохождения высокочастотного сигнала через нанопровод. Определенные магнитодвижущим методом резонансные частоты (f1 = 32,46 МГц, f2 = 71,99 МГц) изготовленных образцов с достаточно высокой точностью согласуются с теорией Эйлера-Бернулли.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть