|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Технологическая диагностика финишного химико-механического полирования методом акустической эмиссиистатья
- Авторы: Барзов А.А., Скворцов К.Ф., Удальцов Е.В.
- Журнал: Прогрессивные методы конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры, Труды МВТУ
- Номер: 455
- Год издания: 1986
- Добавил в систему: Барзов Александр Александрович