Энергетичесие распределения потоков ионов, полученных при помощи емкостного ВЧ разряда в радиальном магнитном поле. XLIII Международная (Звенигородская) конференция по физике плазмы и УТС 8-12 февраля 2016, Сборник тезисов докладов, стр. 298тезисы доклада