Исследование распыления грани (111) тонкой пленки монокристалла кремния методом машинного моделированиястатья

Работа с статьей


[1] Негребецкая Н. Н., Эльтеков В. А., Юрасова В. Е. Исследование распыления грани (111) тонкой пленки монокристалла кремния методом машинного моделирования // Взаимодействие ионов с поверхностью. Материалы ХI конференции. Звенигород. — Т. 1. — Московский инженерно-физический институт Москва, 1993. — С. 125–127.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть