Компьютерное моделирование процессов распыления граней (111) тонкой пленки монокристалла кремниястатья

Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.

Работа с статьей


[1] Компьютерное моделирование процессов распыления граней (111) тонкой пленки монокристалла кремния / В. А. Эльтеков, В. Е. Юрасова, Н. Н. Негребецкая, Н. Г. Васичкина // Поверхность. Физизика, химия, механика. — 1994. — № 2. — С. 46–54.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть