Моделирование процесса прохождения низкоэнергетичных ионов аргона через монокристаллическую пленку кремниястатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science

Информация о цитировании статьи получена из Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 февраля 2016 г.

Работа с статьей


[1] Эльтеков В. А., Негребецкая Н. Н. Моделирование процесса прохождения низкоэнергетичных ионов аргона через монокристаллическую пленку кремния // Известия Российской академии наук. Серия физическая. — 1993. — Т. 57, № 8. — С. 181–187. Методом компьютерного моделирования рассчитаны интегральные и дифференциальные характеристики процесса прохождения ионов Ar (0,04–8,0 кэВ) через тонкую пленку монокристалла Si. Результаты моделирования обсуждаются совместно с результатами аналитических расчетов в рамках теории Линдхарда.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть