Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) to ecth-resistance at different doses of exposure

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) to ecth-resistance at different doses of exposureтезисы доклада

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 11 апреля 2017 г.

Авторы: Ivanenko I.P., Kalnov V.A., Miakonkikh A.V., Orlikovsky N.A., Tatarintsev A.A.
Сборник: International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
Тезисы
Год издания: 2014
Место издания: Moscow-Zvenigorod, Russia
Первая страница: O1-13
Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич