Формирование ультратонких слоев кремния на сапфирестатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК

Работа с статьей


[1] Формирование ультратонких слоев кремния на сапфире / А. А. Шемухин, Ю. В. Балакшин, В. С. Черныш и др. // Письма в "Журнал технической физики". — 2012. — Т. 38, № 19. — С. 83–89.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть