Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Особенности кинетики реактивно-ионного травления SI и SIO2 в смеси CL2+O2
статья
Авторы:
Ефремов А.М., Смирнов С.А., Рыбкин В.В.,
Бетелин В.Б.
Журнал:
Труды НИИСИ РАН
Том:
10
Номер:
3
Год издания:
2020
Первая страница:
4
Последняя страница:
10
DOI:
10.25682/NIISI.2020.3.0001
Добавил в систему:
Стамов Любен Иванович