Оценка адгезионных свойств поверхностей кремниевых пластин после химического травления

Авторы: Цуканов И.Ю., Муравьева Т.И., Шкалей И.В.
Сборник: Трибология - машиностроению: Труды XIII Международной научно-технической конференции (ISBN: 978-5-904282-10-3)
Год издания: 2020
Издательство: ИМАШ РАН
Местоположение издательства: М.
Первая страница: 341
Последняя страница: 345
Аннотация: Проведены измерения состояния поверхности кремниевых пластин после травления в среде кислот с различным временем выдержки методами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии. Показано, что шероховатость поверхностей образцов представляет собой анизотропную регулярную структуру. Предложена теоретическая модель для оценки влияния параметровмикрорельефа на адгезионные свойства при контакте с гладкой поверхностью.
Добавил в систему: Муравьева Тамара Ивановна

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА