Аннотация:В настоящей работе проведены исследования поверхности диффузионных фильтров-мембран из мембранного сплава на основе палладия методами атомно силовой микроскопии (АСМ) на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ) “Smena-A” (платформа “Solver” производства ЗАО НТ-МДТ, Россия). АСМ-изображения обрабатывались программными средствами визуализации и анализа Nova 873. Получена важная информация об изменениях дефектной структуры и упругих полей деформаций поверхности металлических мембран, работающих в агрессивных газовых средах, а также расширено понимание процессов транспортировки атомов газа в структуре.