|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Распыление многокомпо-нентных мишеней в DC и RF системахтезисы доклада
- Авторы: Орликовский А.А., Облезин К.В., Васильев А.Г., Кононов М.И., Двинин С.А.
- Сборник: Тезисы докладов: Материалы Российской Конференции с участием зарубежных ученых “Микроэлектроника-94”
- Тезисы
- Год издания: 1994
- Место издания: Звенигород
- Первая страница: 255
- Последняя страница: 256
- Добавил в систему: Двинин Сергей Александрович