|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Gas Phase Pore Stuffing for the protection of organo-silicate glass dielectric materialsтезисы доклада
- Авторы: Fujikawa M., Sato N., de Marneffe J.F., Chanson R., Gavan K.Babaei, Rezvanov A., Lazzarino F., Tokei Z., Yamaguchi T., Nozawa S.
- Сборник: 2018 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM)
- Тезисы
- Год издания: 2018
- Место издания: IEEE
- DOI: 10.1109/issm.2018.8651158
- Добавил в систему: Резванов Аскар Анварович