МОРФОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ (100)-ТЕКСТУРИРОВАННЫХ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОКстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 1 февраля 2021 г.
Аннотация:Представлены результаты исследования морфологических особенностей поликристаллических(100)-текстурированных алмазных пленок, полученных методом газофазного химического осажде-ния и состоящих из кристаллитов микрометрового размера и разупорядоченного углеродного мате-риала. Полученные пленки нагревали на воздухе до температуры, обеспечивающей селективноеудаление низкоупорядоченного углеродного материала. Структурно-морфологические особенно-сти образцов изучали с помощью электронной микроскопии. На основе полученных эксперимен-тальных данных разработана модель процесса формирования пленок. Справедливость модели под-тверждена соответствием выполненного на ее основе компьютерного моделирования и экспери-ментальных данных.