Выбор метода обработки результатов исследования поверхности сканирующим зондовым микроскопом ФемтоСкан Онлайнстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 1 февраля 2021 г.
Аннотация:Приведены результаты исследования сканов с использованием сканирующего зондового микроскопаФемтоСкан Онлайн в режиме АСМ. Показано, что существующие методы обработки сканов не позволяютпровести однозначно обработку, а значит, и интерпретацию полученных результатов. В связи с этим разработанный ранее математико-статистический метод обработки различных случайных процессов, в том числерезультатов сканирования на СЗМ, применен к анализу экспериментальных данных. На основании построенной модели проведен выбор оптимального фильтра для обработки полученных результатов сканирования.