|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Influence of Hydrogen on the Structure of Cerium Films Obtained by Magnetron Sputter Deposition on Semiconductor Wafersстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 30 декабря 2020 г.
- Авторы: Verbetskii V.N., Mitrokhin S.V., Badun G.A., Evlashin S.A., Tepanov A.A., Bunyaev V.A.
- Журнал: Inorganic Materials: Applied Research
- Том: 11
- Номер: 4
- Год издания: 2020
- Первая страница: 977
- Последняя страница: 981
- DOI: 10.1134/S2075113320040425
- Аннотация: The influence of hydrogen on the structure of thin cerium films formed by the method of magnetronsputter deposition was investigated in this work. Hydrogen-charging of the films was carried out by themethod of Langmuir hydrogen dissociation on a tungsten substrate. The cerium hydride films were coatedwith a protective layer of nickel or chromium. It is demonstrated in this work that the used method of hydrogencharging can be used for introduction of hydrogen also into other hydride-forming metals and alloys.
- Добавил в систему: Вербецкий Виктор Николаевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Influence_of_Hydrogen_on_the_Structure_of_Cerium_Films_Obta… | Influence_of_Hydrogen_on_the_Structure_of_Cerium_Films_Obta… | 692,7 КБ | 6 августа 2020 [Verbetsky] |