|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Применение реперных отметок для координатной привязки к поверхности в сканирующей зондовой микроскопиистатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus,
Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 23 сентября 2020 г.
- Автор: Гуляев П.В.
- Журнал: Компьютерная оптика
- Том: 44
- Номер: 3
- Год издания: 2020
- Первая страница: 420
- Последняя страница: 426
- DOI: 10.18287/2412-6179-CO-641
- Аннотация: Статья посвящена координатной привязке сканирующего зондового микроскопа к исследуемой поверхности. Координатная привязка имеет большое значение при исследованиях одних и тех же объектов различными зондами и в различных средах. В качестве объектатакой привязки предложено использовать реперные отметки, нанесённые на поверхностьнаноиндентором вдоль прямой линии через равные промежутки. Описан порядок смещенияполя зрения микроскопа в процессе обнаружения реперных отметок. Представлен алгоритмих распознавания. Алгоритм основан на корреляционном анализе изображения с помощьюэталонного изображения отметки с последующим выделением особых точек изображенияпо локальным максимумам коэффициента корреляции. При этом использовались дескриптор взаимных расстояний между парами особых точек и коэффициент Пирсона в качествеколичественного критерия распознавания. Рассмотрено три варианта эталонов: окружность,круг с градиентной заливкой и круг со сплошной заливкой. Установлено, что количествоособых точек может существенно превышать количество реперных отметок. Описан методпороговой фильтрации особых точек по значениям коэффициента корреляции. Даннаяфильтрация подразумевает исключение особых точек, в окрестностях которых разностьмаксимального и минимального значения коэффициента корреляции не превышает заданного порога. Представлены результаты, подтверждающие работоспособность предложенных алгоритмов. Выработаны рекомендации по выбору настроек алгоритмов распознаванияи фильтрации.
- Добавил в систему: Гуляев Павел Валентинович