Использование сверхкритического CO2 для понижения диэлектрической проницаемости кремнийсодержащих плёнок, приготовленных на базе лиотропных жидких кристалловстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 14 сентября 2017 г.
Авторы:Сонин А.А.,
Сон Д.Б.,
Янг М.Х.,
Шин Х.Д.,
Джон Х.Д.,
Ким С.И.,
Ю К.П.