|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных |
||
Расчет функции распределения ионов, бомбардирующих электрод в магнетронном ВЧ разрядестатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК- Авторы: Лукьянова А.В., Рахимов А.Т., Суетин Н.В.
- Журнал: Физика плазмы
- Том: 17
- Номер: 8
- Год издания: 1991
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 1012
- Последняя страница: 1016
- Добавил в систему: Рахимов Александр Турсунович