Интегральная и локальная диагностики модели энергоэффективного ВЧ источника ионного пучкастатья
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
-
Авторы:
Рябый В.А.,
Машеров П.Е.
-
Журнал:
Известия академии наук. Энергетика
-
Номер:
2
-
Год издания:
2016
-
Первая страница:
46
-
Последняя страница:
57
-
Аннотация:
Выполнена полная диагностика ВЧ индукционного (ВЧИ) газоразрядного узла энергоэффективной модели ВЧ источника ионного пучка (ВЧИИП) с плоским индуктором и ферритовым сердечником, размещенными в атмосферных условиях на кварцевом окне вакуумируемого газоразрядного блока. Интегральная диагностика позволила оценить детальный баланс ВЧ мощности устройства, включая измерение ВЧ мощности, поглощенной плазмой разряда. Локальная диагностика проводилась
в плазме ВЧИ разряда с помощью одиночных цилиндрических зондов Ленгмюра,использующих опорные электроды с развитой поверхностью. Их характеристики фиксировались зондовой станцией VGPS12 фирмы Plasma Sensors. Получены пространственные распределения фундаментальных параметров плазмы в полуобъёме газоразрядного пространства, расположенного перед зоной размещения ионно-оптической системы ВЧИИП.
-
Добавил в систему:
Рябый Валентин Анатольевич