МОЛЕКУЛЯРНО-ДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, СОСТОЯЩИХ ИЗ СЛОЕВ С ЧЕРЕДУЮЩЕЙСЯ ПЛОТНОСТЬЮстатья

Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 июня 2020 г.

Работа с статьей


[1] Григорьев Ф. В., Сулимов В. Б., Тихонравов А. В. МОЛЕКУЛЯРНО-ДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, СОСТОЯЩИХ ИЗ СЛОЕВ С ЧЕРЕДУЮЩЕЙСЯ ПЛОТНОСТЬЮ // Журнал физической химии. — 2020. — Т. 94, № 5. — С. 1–6. Проведено классическое молекулярно-динамическое моделирование напыления тонкой пленки, состоящей из чередующихся плотных и пористых слоев. Рассчитаны структурные параметры пленки. При моделировании отжига напыленной пленки найдено, что концентрация основных точечных дефектов заметно уменьшается во всех слоях пленки. На основе корреляций между плотностью и показателем преломления получено, что величина показателя преломления варьируется от 1.3 до 1.49, достигая минимального значения в слоях с максимальной пористостью. Такие слои могут быть использованы при конструировании многослойных оптических покрытий, обеспечивающих пропускание и отражение света в заданных диапазонах длин волн.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть