In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrorsстатья

Работа с статьей


[1] In-line plasma cleaning of euv multilayer mirrors / E. M. Malykhin, O. V. Braginsky, A. S. Kovalev et al. // Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France. — Vol. 55 of 7. — Paris, France, 2010.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть