The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixturesстатья

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с статьей


[1] The spatial distribution of radicals in the dual frequency (1.76 mhz /81 mhz) capacitive discharge in chf3/ar and cf4/ar mixtures / O. V. Braginsky, K. S. Klopovskiy, A. S. Kovalev et al. // Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany. — Bochum, Germany, 2009. — P. 39.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть