Radical Production in RF CCP Discharge at 81 MHz Frequency in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixtures. Theory and Experimentстатья

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Работа с статьей


[1] Radical production in rf ccp discharge at 81 mhz frequency in chf3/ar and cf4/ar mixtures. theory and experiment / E. M. Malykhin, O. V. Braginsky, A. S. Kovalev et al. // Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany. — Bochum, Germany, 2009. — P. 362.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть