Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях CHF3/Ar и CF4/Ar. V Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентябрястатья

Работа с статьей


[1] Пространственное распределение радикалов в плазме двухчастотного (1.76 МГц / 81 МГц) емкостного разряда в смесях chf3/ar и cf4/ar. v Международный симпозиум по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября / О. В. Брагинский, А. Н. Васильева, Д. Г. Волошин и др. // Сборник трудов V Международного симпозиума по теоретической и прикладной плазмохии (3-8 сентября 2008, Иваново). — Т. 2. — Ивановский государственный химико-тенологический университет Иваново, 2008. — С. 506–509.

Публикация в формате сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл сохранить в файл скрыть