Аннотация:Проведено исследование структуры и трибологических свойств покрытий,
напыленных методом магнетронного распыления титана в смесях ацетилен-азот различного состава.
Установлено, что все исследованные покрытия содержат аморфный углерод, а в их фазовом составе представлены различных типы стехиометрических и нестехиометрических карбидных, нитридных и оксидных фаз титана. Полученные покрытия имеют достаточно низкий коэффициент трения и при испытаниях на фрикционную усталость сохраняют работоспособность в течение всего цикла испытаний и при контактных давлениях до 450 МПа.