Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processingтезисы доклада

Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.

Авторы: Feoktistov V.A., Lopaev D.V., Klopovsky K.S., Popov A.M., Popovicheva O.B., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V.
Сборник: IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts
Тезисы
Год издания: 1992
Место издания: The Hague, The Netherlands
Первая страница: 174
Добавил в систему: Лопаев Дмитрий Викторович